3月27日，半导体设备板块低开高走，截至14:20，中证半导体材料设备主题指数上涨2.3%，江丰电子领涨成份股，上海新阳、安集科技涨超7%。

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消息面上，受下游AI芯片需求激增及汽车、工控市场补库带动，台积电、联电等晶圆代工厂近期相继上调报价，并加大资本开支力度以扩充先进制程产能，直接拉动半导体设备订单需求。此外，国内晶圆厂扩产节奏持续加快，中芯国际、华虹半导体等头部企业2026年资本开支计划均有不同程度提升，设备国产化率要求进一步提高。

国泰海通证券认为，供给侧的主动收缩叠加原材料价格高位震荡，推升了成熟制程的价格中枢，这将推动代工企业积极扩产，利好上游设备等产业链。

中证半导体材料设备主题指数聚焦半导体产业链上游核心环节，其中半导体设备行业占比达62%，前十大权重股包括中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技等龙头。半导体设备ETF易方达(159558，联接基金A/C：021893/021894)跟踪该指数，可助力投资者布局设备端国产化机遇。